特許

J-GLOBAL ID：200903010344021580

位置測定装置

発明者： ギユンター・ネレー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140392
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139935
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 熱による妨害の影響を阻止し、さらに温度により条件づけられる補正計算をなくすることができる位置測定装置を提供する。【構成】 この位置測定装置では、スケール(1) の熱膨張係数が、機械で加工される材料の膨張係数に対応するようにスケール(1) が形成されている。その機械要素の相対位置を位置測定装置で測定する。

請求項（抜粋）：

スケールと、スケールおよび評価/表示装置を走査するための走査構造ユニットとを有する、二つの機械要素の相対位置を測定するための位置測定装置、特に長さ測定装置において、スケール(1) の熱膨張係数はほぼ2.5 ×10 -6 K -1と3.5 ×10 -6 K -1の間にあることを特徴とする位置測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ,  G01D 5/245

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-040902
  
• 特開昭62-054101
  
• 特開昭59-157510