特許
J-GLOBAL ID：200903010345552023
電子線装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252755
公開番号（公開出願番号）：特開平7-105896
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 エアーロックバルブの開閉の操作を行う場合に有害な機械的振動を生じないようにする。【構成】 エアーロックバルブ駆動機構4は 6kg/cm2 のガス圧が加えられたときにエアーロックバルブ5を開き、 4kg/cm2 のガス圧が加えられたときにはエアーロックバルブ5を閉じる機構を備えている。制御回路11は入力手段からエアーロックバルブ5を開く指示がなされると、ガスバルブ10を開く。これでガス容器12から圧力 6kg/cm2 の圧縮ガスがフレキシブルチューブ6を介してエアーロックバルブ駆動機構4に供給され、エアーロックバルブ5が開かれる。エアーロックバルブ5を閉じる場合には制御回路11はガスバルブ10を閉じ、ガスバルブ9を開く。これでフレキシブルチューブ6内の圧縮ガスは高圧タンク13内に放出され、ガス圧は 4kg/cm2となるので、エアーロックバルブ駆動機構4はエアーロックバルブ5を閉じる。
請求項（抜粋）：
加速管のエアーロックバルブ開閉機構、電子銃のセンタリング機構または加速管電極短絡用駆動機構を備える電子線装置において、前記加速管のエアーロックバルブ開閉機構、電子銃の芯出し機構または加速管電極短絡用駆動機構の少なくとも一つはガス圧により駆動される駆動機構を備えてなり、そのガス圧により駆動される駆動機構は、高圧タンクの内部に配置され且つ高圧タンクに収容されている絶縁ガスより高い圧力の絶縁ガスが封入されたフレキシブルチューブと接続されていることを特徴とする電子線装置。
IPC (2件)：
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