特許
J-GLOBAL ID：200903010363412042
TAB用フィルムキャリアへのレジスト部分塗布方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076900
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283273
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】TAB用フィルムキャリアのリードパターンの非めっき領域、特にベースフィルムの開口部上を横切るように形成されたリードパターンに対しても、効率的かつ精度良くめっきマスキング用レジストを部分塗布することができるTAB用フィルムキャリアへのレジスト部分塗布方法およびその装置の提供。【構成】TAB用フィルムキャリアのリードパターンに部分めっきを施すために、リードパターンのめっきマスク領域にめっきマスキング用レジストを部分塗布するに際し、めっきマスキング用レジストを部分塗布すべきリードパターンのめっきマスク領域に応じた所望形状のレジスト吐出孔が上面側に開孔されたレジスト供給ノズルを配置し、このレジスト供給ノズル上にTAB用フィルムキャリアを水平に保持してリードパターンのめっきマスク領域とレジスト吐出孔とを位置合わせした後、液状のめっきマスキング用レジストをレジスト供給ノズルからレジスト吐出孔の上面に吐出させ、リードパターンのめっきマスク領域のみに接触させて、部分塗布することにより、上記目的を達成する。
請求項（抜粋）：
TAB用フィルムキャリアのリードパターンに部分めっきを施すために、前記リードパターンのめっきマスク領域にめっきマスキング用レジストを部分塗布するに際し、前記めっきマスキング用レジストを部分塗布すべき前記リードパターンのめっきマスク領域に応じた所望形状のレジスト吐出孔が上面側に開孔されたレジスト供給ノズルを配置し、このレジスト供給ノズル上に前記TAB用フィルムキャリアを水平に保持して前記リードパターンのめっきマスク領域と前記レジスト吐出孔とを位置合わせした後、液状の前記めっきマスキング用レジストを前記レジスト供給ノズルから前記レジスト吐出孔の上面に吐出させ、前記リードパターンのめっきマスク領域のみに接触させて、部分塗布することを特徴とするTAB用フィルムキャリアへのレジスト部分塗布方法。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, C25D 5/02
