超音波加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤辰彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008485
公開番号（公開出願番号）：特開平8-155409
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：

【要約】【目的】酸・アルカリ水溶液を用いる超音波加工装置に設けられる超音波振動子装置を保護でき、前記水溶液に効率よく均一に超音波を放射できる超音波加工装置を提供する。【構成】ワークWの処理液3を収容する処理槽4に、隔壁2を介して超音波伝達液5を収容する超音波伝達槽6を設け、その内部に超音波振動子装置7を設ける。超音波伝達槽6に超音波伝達液供給手段12,13,14,15を設ける。超音波伝達液供給手段14に脱気手段16、冷却手段17を設ける。超音波伝達液5は、5〜30°Cに冷却され、溶存酸素量0.5〜3ppmに脱気されている。隔壁2は耐薬品性の合成樹脂板である。処理液3は酸またはアルカリの水溶液を用いることができ、そのとき隔壁2は耐薬品性の合成樹脂板である。

請求項（抜粋）：

ワークを浸漬して加工する処理液を収容する処理槽に、超音波を伝達する脱気された超音波伝達液を収容する超音波伝達槽を隔壁を介して設け、該超音波伝達槽の内部に設けられた超音波振動子を内蔵する超音波振動子装置から該超音波伝達液に放射された超音波を該隔壁を介して該処理槽に収容された該処理液に放射するようにした超音波加工装置において、前記超音波伝達槽の側壁の一方の側から前記超音波伝達液を供給し、供給された超音波伝達液を他方の側から排出する超音波伝達液供給手段を設け、前記超音波伝達液供給手段に前記超音波伝達液を脱気する超音波伝達液脱気手段と、該超音波伝達液を冷却する超音波伝達液冷却手段とを設けてなることを特徴とする超音波加工装置。

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