特許
J-GLOBAL ID:200903010371954229

透過歪の測定方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小泉 雅裕 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-230760
公開番号(公開出願番号):特開平7-120402
出願日: 1994年08月31日
公開日(公表日): 1995年05月12日
要約:
【要約】【構成】撮像手段4にて被測定物1の測定範囲全域を順次ライン走査することにより、被測定物1を介して背景スクリーン2を撮影した後、その撮影データから被測定物1の透過歪を測定する方法であって、背景スクリーン2の規則性パターン3として、所定方向に連続的に延びる三角波状単位パターン3aが等ピッチ間隔で配列されるものを用いる。【効果】撮像手段による焦点ぼけの影響を極力抑えて透過歪を正確に測定でき、しかも、測定処理の簡略化を図ると共に広い測定範囲にも容易に対応できる。
請求項(抜粋):
光透過性の被測定物(1)の背面に所定の規則性パターン(3)が描かれた背景スクリーン(2)を設置する一方、被測定物(1)の手前側にライン走査可能な撮像手段(4)を設置し、この撮像手段(4)にて被測定物(1)の測定範囲全域を順次ライン走査することにより、被測定物(1)を介して背景スクリーン(2)を撮影した後、その撮影データから被測定物(1)の透過歪を測定する方法であって、背景スクリーン(2)の規則性パターン(3)として、所定方向に実質的に連続的に延びる三角波状単位パターン(3a)が等ピッチ間隔で配列されるものを用いたことを特徴とする透過歪の測定方法。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/16

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