特許
J-GLOBAL ID：200903010372031205
電気式脱イオン水製造装置を組込んだサブシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-149288
公開番号（公開出願番号）：特開平7-008948
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】 超純水製造用サブシステムのカートリッジポリッシャや、限外濾過膜装置等の膜装置の膜のライフ延長、更にはこれらの削除を図る。【構成】 1次純水製造装置2から供給される純水を、少なくとも電気式脱イオン水製造装置10を組み込んだサブシステムで処理してユースポイント14に超純水を供給する。
請求項（抜粋）：
1次純水製造装置から供給される純水を更に精製処理してユースポイントへ供給するサブシステムが少なくとも電気式脱イオン水製造装置を組込んでなることを特徴とする電気式脱イオン水製造装置を組込んだサブシステム。
IPC (7件)：
C02F 1/42
, B01D 61/18
, B01D 61/58
, C02F 1/32
, C02F 1/44
, C02F 1/72 101
, C02F 9/00
