特許
J-GLOBAL ID：200903010375109310
窒素酸化物検出素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307887
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160324
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 窒素酸化物に対する応答性が速く、かつ燃焼性ガスに影響されることなく窒素酸化物の検出を可能とし、しかも窒素酸化物検出素子を低コストで実現可能とする。【構成】 絶縁性基板1と、この絶縁性基板1上に形成された酸素-錫の組成比1.5〜1.9を有する酸化錫薄膜2と、この酸化錫薄膜2上に接触しかつ互いに対向して形成された一対の櫛形状の金属電極3a,3bと、この金属電極3a,3bにそれぞれ一体的に形成された電極端子4a,4bと、絶縁性基板1の背面に形成された加熱ヒータ5とから構成する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に形成された酸素-錫の組成比1.5〜1.9を有する酸化錫薄膜と、前記酸化錫薄膜と接触しかつ互いに対向して形成された一対の金属電極と、前記絶縁性基板の背面に形成されたヒータと、を備えたことを特徴とする窒素酸化物検出素子。
引用特許：
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