特許
J-GLOBAL ID：200903010379627677
溶存酸素の除去方法及び装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274697
公開番号（公開出願番号）：特開平5-084474
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 疎水性膜を用いた脱気膜装置の気相部の酸素分圧を低減させ、液中の溶存酸素を極低濃度にまで除去できる方法及び装置を提供すること。【構成】 複数個の膜脱気エレメントを前段と後段の2ステージに分割し、前段エレメント群1では真空排気装置3を用いて気相部の真空排気のみを行い、後段のエレメント群2の気相部では真空排気装置4による真空排気と共に不活性ガス供給装置5から不活性ガスを供給して後段のステージエレメント内の気相部の酸素分圧を低減する。【効果】 液中の溶存酸素濃度を数ppb 程度に容易に低減することができる。
請求項（抜粋）：
通気性を有する疎水性膜を介して液相部と気相部を形成する膜脱気エレメントを複数個配列し、その気相部を真空排気すると共に、不活性ガスを供給して気相部の酸素分圧を低減することを特徴とする溶存酸素の除去方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
