特許
J-GLOBAL ID：200903010385750286
蒸気洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099231
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283192
出願日： 1994年04月12日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 蒸気洗浄に於いて高清浄な洗浄結果を得る。【構成】 被洗浄体のウェハ1を保持するキャリア2を搬送ベルト7により搬送し、搬送方向に連設されたウェハ冷却室3・第1の洗浄室4・第2の洗浄室5・乾燥室6の順に通して、各部屋毎の処理をバッチ処理にて行う。第1の洗浄室4では、酸・塩・塩基・酸化剤の各薬液の少なくとも1種を含む洗浄液を用いた蒸気洗浄を行う。次の第2の洗浄室5で水蒸気による洗浄を行い、乾燥する。【効果】 金属や付着粒子の除去を行う薬液を水置換してから乾燥するため、薬液洗浄後に乾燥した場合に於ける薬液の残りにより水中の不純物が付着することを防止でき、蒸気洗浄による極めて清浄な洗浄結果を得られる。
請求項（抜粋）：
第1の洗浄室にて酸・塩・塩基・酸化剤の各薬液の少なくとも1種を含む洗浄液の蒸気により被洗浄体を洗浄する過程と、第2の洗浄室にて前記蒸気洗浄後の前記被洗浄体を水蒸気により洗浄する過程とを有することを特徴とする蒸気洗浄方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/08
