特許
J-GLOBAL ID：200903010388804328
光照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178067
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039030
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】【目的】構成が簡単でエネルギーの有効利用、正確な残滓除去、表面改質作業後の印刷の色合の適正化、限定空間での迅速かつ適切なワーク洗浄、さらに、洗浄作業、表面改質作業、残滓除去作業の各作業が一つの装置ででき、効率的な光照射を可能とし、また、クリーンルーム内の環境を変えることなく使用でき、かつ、ワークの設置対応およびワークの凹凸面にも適切に対応できる光照射装置。【構成】一方と他方に開口部2a,2bを備えるハウジング2内に放電灯3および反射鏡4を設け、前記放電灯に沿って前記反射鏡に空冷用切欠部5を設け、その空冷用切欠部に空冷ガス吹付手段6を設け、空冷ガスの供給手段6bと、空冷ガスの排出手段9とをハウジングの所定位置に設け、前記ハウジングの両開口部には、それら開口部を開口閉塞自在にする各一方と他方の透光板7と、この透光板に当接離間自在に板状の反射板8を設けた。
請求項（抜粋）：
一方と他方に開口部を備えるハウジングと、このハウジング内に設けた紫外線を含む光を照射する放電灯と、この放電灯に離間してハウジング内に設けた前記両開口部側に照射光を反射する反射鏡と、前記放電灯に沿って前記反射鏡に設けた空冷用切欠部と、この空冷用切欠部に沿って設けた空冷ガス吹付手段と、前記ハウジングの所定位置に設けた空冷ガスの供給手段と、前記空冷ガス吹付手段から放電灯に向かって吹き付けられた空冷ガスをハウジング外に排出する排出手段とを備え、前記ハウジングの両開口部近傍には、それぞれの開口部を開放または閉塞する一方と他方の透光板を設けると共に、前記両透光板のそれぞれに当接離間自在に一方と他方の反射板を設け、前記開口部に設けた透光板は、その基端部を開口部に沿って軸着し、一方の移動端部で透光板の一面周縁が開口部の周辺に当接すると共に、対面する透光板の側端部が当接し、前記反射板は、上下の開口部にそれぞれ左右一対づつ設けられると共に、各反射板の基端部を軸着したことを特徴とする光照射装置。
IPC (3件)：
B08B 7/00
, B08B 3/10
, G03F 7/20 501
