特許
J-GLOBAL ID：200903010390668369
静電容量型真空センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318166
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】 ダイヤフラム電極の弾性構造部の厚さを変更する必要なしに測定圧力領域の変更が可能であって、また、固定電極やダイヤフラム電極の大きさを小さくする必要なしに、高い精度で、圧力センサの測定圧力領域を比較的高い圧力に設定可能な静電容量型真空センサを提供する。【解決手段】 ダイヤフラム電極の弾性構造及び/又は当該弾性構造に対向する固定電極に、絶縁体からなる突起構造が、当該突起構造の中の隣接する複数の突起構造によって囲まれる弾性構造の面積があらかじめ定められている大きさになるようにして立設されている静電容量型真空センサによって課題を解決した。
請求項（抜粋）：
内部に空間を隔てて弾性構造を有するダイヤフラム電極と、剛性構造上の固定電極とを対向させて配置し、外部から前記ダイヤフラム電極に気体圧力が加わったときに前記ダイヤフラム電極の弾性構造が弾性変形することにより、前記ダイヤフラム電極と前記固定電極との間の静電容量が変化することを利用して、前記気体の圧力を測定する原理の静電容量型真空センサにおいて、前記弾性構造の固定電極に対向している面、又は前記固定電極の弾性構造に対向している面の一方、あるいは両方の面の上に、絶縁体からなる突起構造が、当該突起構造の中の隣接する突起構造によって囲まれる面積があらかじめ定められている大きさになるように立設されていることを特徴とする静電容量型真空センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F055AA40
, 2F055BB08
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE25
, 2F055FF07
, 2F055GG11
