特許

J-GLOBAL ID：200903010400504335

真空チャンバー

発明者： 宮代 康
出願人/特許権者： 三菱樹脂株式会社
代理人 (1件)： 近藤 久美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048841
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247629
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 高真空測定装置に用いられているフィラメントを痛めることがない真空チャンバーを提供する。【構成】 高真空測定装置と低真空測定装置とが、各々、異なった空間に備えられ、該二つの空間は開閉可能な遮断体により区切られており、かつ、低真空測定装置を備えた空間は該空間を脱気するポンプを有していることを特徴とする真空チャンバー。【効果】 試料交換の度に高真空測定装置に用いられているフィラメントを痛めることがないので、高真空測定装置の寿命が極めて長く、また、精度の低下もない。

請求項（抜粋）：

高真空測定装置と低真空測定装置とを備えた真空チャンバーにおいて、前記高真空測定装置と前記低真空測定装置とが、開閉可能な遮断体により、各々、異なった空間に区切られており、かつ、低真空測定装置を備えた空間は該空間を脱気するポンプを有していることを特徴とする真空チャンバー。

IPC (3件)：

C23C 14/22 ,  B01J 3/00 ,  B01J 3/02