特許
J-GLOBAL ID：200903010406629229
液晶表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077787
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289401
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、不純物及びピンホール等の入り難い良質な膜質のポリイミド系有機配向膜及び無機酸化膜を得ることができる液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 大気圧プラズマ法により基板上に無機酸化膜を形成する工程と、次いで、大気圧プラズマ法により該無機酸化膜上にポリイミド系有機配向膜を形成する工程とを含むように構成する。
請求項（抜粋）：
大気圧プラズマ法により基板上に無機酸化膜を形成する工程と、次いで、大気圧プラズマ法により該無機酸化膜上にポリイミド系有機配向膜を形成する工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1337 525
, C09K 19/02
, C23C 16/40
