特許
J-GLOBAL ID：200903010414287400
電界放出型冷陰極アレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043484
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254355
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 簡易かつ短いスループットで形成することが可能な、大面積にわたって均一な寸法および形状の電界放出型冷陰極アレイを実現する。【構成】 隣り合う第1の基板11どうしのスペース(間隙)に、アノード電極層8とエミッタ2の先端部との間隙距離を保持するための基板間隙保持部材5を堆積形成させる。この基板間隙保持部材5を堆積することによって冷陰極アレイ(エミッタ2のアレイ)を大面積化するとともに、基板間隙保持部材5とアノード電極層8との間隔距離を大面積にわたって均一に保持することを、簡易な方法で実現することができる。
請求項（抜粋）：
先端が尖った形状の複数のエミッタが主面上にアレイ状に突設されたエミッタ材料層と、前記エミッタの先端部を露出させつつ前記エミッタ材料層上を被覆するように形成された絶縁層と、前記絶縁層上を被覆するとともに前記エミッタの先端部を露出させて該先端部の周囲を非接触に囲むように開口が形成されたゲート電極層と、前記複数のエミッタどうしの間隙部分の前記エミッタ材料層の主面上でかつ前記エミッタ材料層と同じ形成材料から形成されており前記エミッタ材料層の主面から前記エミッタの先端までの高さよりも前記エミッタ材料層の主面上からの頂面の高さが高く形成された基板間隙保持部材とを備えた冷陰極アレイ基板と、支持基板上にアノード電極が形成されており、前記基板間隙保持部材の高さ方向頂面で前記冷陰極アレイ基板に接合されて前記基板間隙保持部材によって間隙を保持されつつ前記冷陰極アレイ基板と対向配置されたアノード基板とを具備することを特徴とする電界放出型冷陰極アレイ。
IPC (2件)：
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