電子顕微鏡用試料の作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254561
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074621
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、電子顕微鏡用試料を破壊したり、飛ばして紛失したりすることがなく、また金属メッシュに張られた有機膜を破ることなく、容易に金属メッシュ上に試料を張り付けることができることを最も主要な特徴とする。【解決手段】表面にコロジオン膜16が張られた金属メッシュ17からなる支持台18上に純水からなる水滴21を形成しておき、静電ピンセット14の先端部に試料15を付着させることによって試料15を採取し、この試料を水滴21に接触させることによって支持台18上に試料15を載置し、接着するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

表面に有機膜が張られた金属メッシュからなる支持台上に揮発可能な液体を予め塗布しておき、静電ピンセットの先端部に試料を付着させることによって試料を採取し、この採取された試料を上記液体に接触させることによって上記支持台上に上記試料を載置し、接着するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡用試料の作製方法。

IPC (4件)：

G01N 1/28 , G01N 1/00 101 , G01N 23/04 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 1/28 F , G01N 1/00 101 A , G01N 23/04 , H01L 21/66 N , G01N 1/28 W

Fターム (24件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA12 , 2G001KA08 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001RA08 , 2G001RA10 , 4M106AA01 , 4M106AA20 , 4M106BA02 , 4M106BA12 , 4M106CB17 , 4M106DH24 , 4M106DH55 , 4M106DH60 , 4M106DJ02 , 4M106DJ32

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