特許

J-GLOBAL ID：200903010427724159

角速度センサ

発明者： 小林 宏彰
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308973
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131077
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 より簡単な構成で量産効果が期待でき、振動子の寸法精度も比較的容易に満足できる。【解決手段】 この角速度センサは、圧電体2aの対向される側面に配置されている電極2b,2c、及び電極2dからなる圧電素子2と、基体3aの2面に亘り一体にされて配設されている電極3b,3c,3dからなる基体素子3とを積層してなる略四角柱状の振動子1を備える。振動子1は、下面電極2dと基体3aの一の面の電極3bとが接合されて、積層されている。角速度センサは、電極2b,2cと、電極3bとの間に電圧を印加して、圧電素子2により振動子1を振動させるとともに、振動子1に生じるコリオリ力を圧電素子2により角速度を検出する。

請求項（抜粋）：

圧電体と、この圧電体の対向される面に配置されている第1及び第2の圧電素子電極とからなる略板形状の圧電素子と、基体と、この基体の少なくとも2つの面に亘り一体にされて配置されている基体素子電極とからなる断面略矩形の基体素子とを積層してなる四角柱状の振動子を備え、上記振動子は、上記第1の圧電素子電極と上記基体素子の一の面の上記基体素子電極とが接合されて、積層されており、角速度の検出を、上記第2の圧電素子電極と上記基体素子において上記接合されない他の面の上記基体素子電極との間に電圧を印加して、上記圧電素子により上記振動子を振動させるとともに、当該振動子に生じるコリオリ力を当該圧電素子により検出することにより行うことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Fターム (10件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-309983   出願人：株式会社村田製作所