特許
J-GLOBAL ID：200903010430519795

絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置

発明者：
山岸 潤一

山岸 潤一 について

, 
余 永康

余 永康 について


出願人/特許権者：
株式会社ユニレック

株式会社ユニレック について

, 
山岸 潤一

山岸 潤一 について


代理人 (1件)： 須藤 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087431
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279524
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 流路を流れる絶縁性流動体の純度、混合割合等を正確に計測し、制御することを可能とする。【解決手段】 絶縁樹脂製の流路1aの静電容量の変化を検出する第1,第2,第3センサーユニット19,21,23と、流路1aを流れる超純水の純度を判断するために流路1aの基準の静電容量の変化を予め記憶するメモリ41と、検出した静電容量の変化と記憶した静電容量の変化とを比較して流路1aを流れる超純水の純度を計測し、該純度を制御する。
請求項（抜粋）：
流路の静電容量の変化を検出する静電容量センサと、前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を判断するために該流路の基準の静電容量の変化を予め記憶する基準値記憶手段と、前記検出した静電容量の変化と記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を計測する割合計測手段とよりなることを特徴とする絶縁性流動体の計測装置。
IPC (2件)：
G01N 27/22 ,  H01L 21/306
FI (2件)：
G01N 27/22 B ,  H01L 21/306 J
Fターム (9件)：
2G060AE40 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060KA05 ,  5F043AA01 ,  5F043EE03 ,  5F043EE21 ,  5F043EE23 ,  5F043EE25
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM