特許
J-GLOBAL ID：200903010431576792
バンプ転写用フレーム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210223
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078420
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】転写工程前の転写バンプの脱落を防止できると共に、転写工程時の転写不良の発生を防止して良好な転写性を確保できるバンプ転写用フレームを提供する。【構成】熱硬化性樹脂層2と、その上に形成された転写用バンプ1とからバンプ転写用フレームを構成する。又、フレーム基板4と、この上に積層された熱可塑性樹脂層3と、この上に積層された熱硬化性樹脂層と、さらにこの熱硬化性樹脂層の上に接着された転写用バンプとから、バンプ転写用フレームを構成する。
請求項（抜粋）：
熱硬化性樹脂層に転写用バンプが接着されて成る、バンプ転写用フレーム。
IPC (2件)：
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
