ピラニ真空計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053815
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249617
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】応答の迅速なピラニ真空計を提供すること、及び製作が容易でフィラメントの耐久性が良く個体差の少ないピラニ真空計を提供すること。【解決手段】ピラニ真空計のエンベロープ1内に設けられるフィラメント8を3本以上のフィラメント部材7で構成し、各フィラメント部材を電気的に直列に接続した。エンベロープの一端を閉鎖する端子2に、4本以上の電気接続ピン5を埋設し、各フィラメント部材の端部を2本の電気接続ピンに溶接により張設する。該端子に、2本の電気接続ピンと1本の金属軸9を埋設し、該金属軸に該エンベロープの内部へ延びる取付板10を設けると共に該取付板の板面に電気絶縁された導電端子板を設け、各フィラメント部材が両電気接続ピン間で電気的に直列に接続されるように各導電端子板に各フィラメント部材の端部を溶接した。

請求項（抜粋）：

ピラニ真空計のエンベロープ内に設けられるフィラメントを3本以上のフィラメント部材で構成し、各フィラメント部材を電気的に直列に接続したことを特徴とするピラニ真空計。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB08 , 2F055CC43 , 2F055DD20 , 2F055EE40 , 2F055FF17 , 2F055FF43 , 2F055GG11

引用特許：

出願人引用 (1件)

ピラニ真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-073159 出願人：日本真空技術株式会社

審査官引用 (1件)

ピラニ真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-073159 出願人：日本真空技術株式会社

前のページに戻る