無機フッ化物単結晶の育成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288864
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116393
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】無機フッ化物単結晶の育成において、酸化物などの不純物や酸素などの吸着物に影響されない高品質単結晶の育成方法を提供する。【解決手段】透明石英管9などで構成する製造容器内へ、不活性ガスと一部または全部がフッ素化されたパラフィンとの混合ガスをガス導入管13より流入させ、熱分解により発生する炭素やフッ素の作用により、原料溶融8から酸素や水素を除去し、さらにフッ素を付与して原料融液8を固化する。

請求項（抜粋）：

不活性ガスを主成分とする雰囲気ガスが流入する製造容器内で行う無機フッ化物単結晶の育成方法において、雰囲気ガスが、一部または全部がフッ素化されたパラフィンと不活性ガスとの混合ガスであることを特徴とする無機フッ化物単結晶の育成方法。

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