特許

J-GLOBAL ID：200903010434287872

真空ポンプ

発明者： 山下 義弘
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-357082
公開番号（公開出願番号）：特開2002-155890
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 真空ポンプ内部に付着、堆積する生成物を加熱除去する際の、加熱の効率と応答性に優れ、かつ加熱温度の高温化も図れる真空ポンプを提供する。【解決手段】 ポンプケース1内に回転可能に設置されたロータ2と、このロータ2の上部側外周面に複数設けられたロータ翼4と、その上下段のロータ翼間に配置されたステータ翼5と、上記ロータ2の下部側外周面と対向する位置に配置されたネジステータ7とを備えてなる真空ポンプにおいて、そのネジステータ7に加熱手段としてシーズヒータ10を直接埋設または嵌め込み設置するものとする。

請求項（抜粋）：

ポンプケース内に回転可能に設置されたロータと、このロータの上部側外周面に複数設けられたロータ翼と、その上下段のロータ翼間に配置されたステータ翼と、上記ロータの下部側外周面と対向する位置に配置されたネジステータとを備えてなる真空ポンプにおいて、上記ネジステータにシーズヒータを設けたことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/54 ,  F04D 29/58

FI (4件)：

F04D 19/04 E ,  F04D 19/04 H ,  F04D 29/54 F ,  F04D 29/58 L

Fターム (22件)：

3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA03 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA35 ,  3H034AA02 ,  3H034AA12 ,  3H034BB01 ,  3H034BB04 ,  3H034BB08 ,  3H034BB11 ,  3H034CC03 ,  3H034CC07 ,  3H034DD01 ,  3H034DD28 ,  3H034EE00 ,  3H034EE02 ,  3H034EE04 ,  3H034EE15 ,  3H034EE17