特許

J-GLOBAL ID：200903010435726020

ゲートバルブおよび駆動軸の真空シール機構

発明者： 林 和一 ,  伊藤 正行
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-145028
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324032
出願日： 2000年05月17日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 パーティクルの軽減および装置の小型化が可能なゲートバルブおよびベローズを提供する。【解決手段】 処理装置100のゲートバルブGV1を構成する弁アセンブリ102は,弁体116,弁体フレーム118,リンク機構136から成る。弁体116を支持する弁体フレーム118の座面側面には,所定遊び空間を有する溝118b内に配されたOリング120が設けられる。Oリング120が樹脂部材(座面)126に当接すると,弁アセンブリ102の上昇運動が制限される。弁体116は,リンク機構136により移動して開口部PC1aを封止する。駆動軸112を封止するベローズ144は,ベローズ144を固定する上部および下部取付端部材146,148と,座屈を防止する第1および第2節部150,152に設けられた第1および第2ベローズガイド146a,148a,第1および第2節部スライド部150a,152aの外側に配置される。

請求項（抜粋）：

壁体に形成される開口部を気密に封止する弁体と,前記弁体を支持する弁体フレームと,前記弁体と弁体フレームとを連動させるリンク機構と,前記弁体と前記弁体フレームと前記リンク機構を含む弁アセンブリを前進後退させる駆動機構と,前記弁アセンブリの前進運動時に前記弁体フレームの前進運動を制限し前記リンク機構を介して前記弁体を前記開口部方向に移動させる座面とを備えたゲートバルブにおいて,前記弁体フレームと前記座面とが接する部分には緩衝部材が設けられ,前記緩衝部材は前記弁体が前記開口部方向に移動する際に前記緩衝部材の運動を一定範囲内で許容する遊び空間を有する溝内に設けられることを特徴とする,ゲートバルブ。

IPC (3件)：

F16K 3/18 ,  F16J 3/04 ,  F16K 41/10

FI (3件)：

F16K 3/18 A ,  F16J 3/04 B ,  F16K 41/10

Fターム (13件)：

3H053AA25 ,  3H053AA31 ,  3H053BB24 ,  3H053BD10 ,  3H053DA12 ,  3H066AA03 ,  3H066BA17 ,  3J045AA04 ,  3J045AA05 ,  3J045AA20 ,  3J045BA04 ,  3J045CB14 ,  3J045CB21