粒子配列装置およびこれを用いた粒子配列方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130518
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308412
出願日： 1997年05月02日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 TABやフリップチップ・ボンディングにおけるバンプ形成を転写方式で行う場合の転写漏れを防止する。【解決手段】ハンダ・ボール配列部Iにおいて、ハンダ・ボールSBの直径よりも開口径の大きい第1開口5aを有する第1マスク板5と、開口径の小さい第2開口6aを有する第2マスク板6とを互いの開口同士をアライメントさせた状態で近接保持し、第1開口5a内にハンダ・ボールSBをひとつずつ捕捉させる。第2マスク板6は、その背面側の多孔質平板2を通じた排気により表面に生ずる吸引力を利用してハンダ・ボールSBを保持する。この後、第2マスク板6上から第1マスク板5を分離し、配列部ステージ1をハンダ・ボール転写部IIに移送し、ここで転写ヘッド21を用いて最終的にハンダ・ボールSBをデバイス・チップ31の電極パッド32上に転写する。

請求項（抜粋）：

粒子の供給手段と、一方の主面が前記供給手段から供給される粒子の配列面とされる多孔質平板と、前記多孔質平板を支持し、かつ該多孔質平板の他方の主面と共に閉空間を形成するステージと、前記閉空間に接続され、その内部を排気することにより前記多孔質平板の配列面に吸引力を生起させる排気手段と、前記多孔質平板の配列面上に保持され、前記粒子の直径よりも小さな直径を有する第2開口が該粒子の所定の配列パターンにしたがって開口された第2マスク板と、前記第2マスク板と接触配置もしくは平行近接配置され、前記粒子の直径よりも大きな直径を有する第1開口が該第2マスク板と同じ配列パターンにしたがって開口された第1マスク板と、前記第1マスク板と前記第2マスク板とを近接/離間自在となすために、前記ステージもしくは該第2マスク板の少なくとも一方に接続される配列部駆動手段と、前記第1開口に収容し切れなかった余剰粒子を回収する回収手段とを備えた粒子配列部を有する粒子配列装置。

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