固体電解質ガスセンサ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-231677
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056313
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】熱応力によって固体電解質薄膜にクラックが発生することが防止された固体電解質ガスセンサ及びその製造方法の提供。【解決手段】上基板4に形成された空洞4a側壁と矩形状の熱断性膜3角部の間には、熱断性膜3の平面方向に沿って弾性変形可能に腕5がそれぞれ接続される。熱断性膜3上には複数の固体電解質薄膜2がパターン形成される。同じ固体電解質薄膜2上に形成された各電極さらにその固体電解質薄膜2を含んで、一個の固体電解質ガスセンサ素子が構成される。この固体電解質ガスセンサ素子が、熱断性膜3上に複数個形成されている。熱断性膜3の周縁部にはヒータ線19が形成されている。センサ使用時、ヒータ線19に通電されて熱断性膜3に熱応力が加わるが、腕5が熱断性膜3の平面方向に沿って弾性変形することにより、熱断性膜3がその全体形状を維持したまま平面方向に変位し、熱断性膜3の反りが防止され、結局、固体電解質薄膜2におけるクラックの発生が防止される。

請求項（抜粋）：

基板と、支持膜と、前記支持膜上に形成された固体電解質薄膜と、前記基板と前記支持膜の間に連結され、前記支持膜の平面方向に沿って弾性的に変形可能な腕と、前記支持膜上ないし該膜内に形成されたヒータ素子と、前記固体電解質薄膜を含んで形成されたガスセンサ素子と、を有することを特徴とする固体電解質ガスセンサ。

IPC (3件)：

G01N 27/409 , G01N 27/41 , G01N 27/416

FI (3件)：

G01N 27/58 B , G01N 27/46 325 H , G01N 27/46 331

Fターム (5件)：

2G004BB04 , 2G004BC10 , 2G004BD14 , 2G004BJ03 , 2G004BM07

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