特許

J-GLOBAL ID：200903010443240218

液滴吐出装置及び液滴吐出方法

発明者： 池川 正人 ,  佐々木 康彦 ,  吉冨 雄二 ,  有働 竜二郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日東電工株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003209
公開番号（公開出願番号）：特開2003-203939
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】液滴吐出装置において、微細な液滴を均一かつ確実に吐出すること。【解決手段】液体20を収納すると共に底部に液体20を吐出するための微細なオリフィス6を有するタンク1と、タンク1内の液体20全体に慣性力を与えて液体20の一部をオリフィス6から微細な液滴10にして吐出するようにタンク1を加振させる加振子3と、タンク1内の液体20の状態を検出する検出器23と、検出器23の検出結果に基づいてオリフィス6部分の液体20の圧力が一定になるように制御する制御装置22と、を備える。

請求項（抜粋）：

液体を収納すると共に底部に液体を吐出するための微細なオリフィスを有するタンクと、前記タンク内の液体全体に慣性力を与えて液体の一部を前記オリフィスから微細な液滴にして吐出するように前記タンクを加振させる加振子と、前記タンク内の液体の状態を検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて前記オリフィス部分の液体の圧力が一定になるように制御する制御装置と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (6件)：

H01L 21/60 ,  B05B 1/02 102 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/30 ,  H01L 41/09

FI (6件)：

B05B 1/02 102 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/30 ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 41/08 U

Fターム (34件)：

4D075AC06 ,  4D075AC93 ,  4D075AC95 ,  4D075BB14Y ,  4D075BB29Y ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075EA07 ,  4D075EB01 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA07 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033HA02 ,  4F033LA13 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA07 ,  4F041BA10 ,  4F041BA34 ,  4F041BA46 ,  4F041BA48 ,  4F042AA01 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA02 ,  4F042BA06 ,  4F042BA09 ,  4F042BA11 ,  4F042CA09 ,  4F042CB24 ,  4F042CB26

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 位 牌
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-226518   出願人：株式会社ダイワ