液晶セルの異物検査方法ならびに装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051067
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250702
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】液晶セルに異物が存するときに、その異物が液晶セルの厚み方向でどの深さ位置に存在するのかを検出できる異物検査方法と、その装置とを提供する。【解決手段】ラインセンサ2a,2bからの各素子の輝度データに基づいて液晶セル5の異物を検査するようにした液晶セルの異物検査方法であって、液晶セル5の各素子の輝度を、セル表面Sに鉛直な方向Qで測定する第1のラインセンサ2aと、スキャン方向Yにおいて前記鉛直な方向Qと或る角度θ傾斜した方向で測定する第2のラインセンサ2bとで測定して、第1及び第2のラインセンサ2a,2bが同一異物を検出した際の時間差に基づいて、液晶セル5の厚み方向での異物の深さ位置を検出するようにしている。

請求項（抜粋）：

複数の受光素子を一直線上に配列してなるラインセンサによって液晶セルの複数の素子をスキャンし、このラインセンサからの各素子の輝度データに基づいて液晶セルの異物を検査するようにした液晶セルの異物検査方法であって、液晶セルの各素子の輝度を、セル表面に鉛直な方向で測定する第1のラインセンサと、スキャン方向において前記鉛直な方向と或る角度傾斜した方向で測定する第2のラインセンサとで測定して、第1及び第2のラインセンサが同一異物を検出した際の時間差に基づいて、液晶セルの厚み方向での異物の深さ位置を検出することを特徴とする液晶セルの異物検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/958 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

FI (3件)：

G01N 21/958 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352

Fターム (18件)：

2G051AA73 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CC11 , 2G051DA07 , 2H088FA11 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA28 , 2H088MA20 , 5G435AA17 , 5G435AA19 , 5G435BB12 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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