特許
J-GLOBAL ID：200903010459809059
超音波接合装置及び品質モニタリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010740
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206224
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】接合表面に被覆材や酸化膜のような接合を阻害する介在物があった場合や、被接合材の固定が不十分であった場合でも、接合進行状態をモニタリングし、接合条件を適応制御して接合品質の一定した良好な超音波接合を達成する。【構成】超音波制御装置と、接合ヘッドからなる接合系と、レーザ発振器8と、レーザ光学系と、振動計7からなる振動モニタリング系とを有し、モニタリング結果を接合条件にフィードバックする機構を備えた超音波接合装置。【効果】ツール先端の超音波振動変化、あるいはツールとワーク,ワークとワーク間の相対振動変化を正確に計測できるため、オンラインで接合状況を正しく判定でき、接合条件にフィードバックをかけることで、常に良好な接合を達成できる。
請求項（抜粋）：
超音波発生手段,該超音波発生手段から発せられた超音波を接合部材に加える手段,前記接合部材と接合させる被接合部材を固定する固定材を保持する治具、を有する超音波接合装置であって、前記接合部材及び前記被接合部材の相対振動状態を検出する手段,該検出結果を診断する手段、及び該診断結果を前記超音波発生手段にフィードバックする手段を備えたことを特徴とする超音波接合装置。
引用特許：
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