特許

J-GLOBAL ID：200903010461810099

超精密加工装置

発明者： 野田 修 ,  栗林 志頭真
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162265
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347758
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】より精密な加工と、長時間連続動作が要求されるラインへの導入を可能とする。【解決手段】超短パルスレーザビーム2を出射するfsecTiサファイヤレーザ発振器1と、超短パルスレーザビーム2のビーム径を拡大して反射させる折返しミラー3と、折返しミラー3で反射した超短パルスレーザビーム2をラインフォーカスしてウェハ5に照射するシリンドリカルミラー4から構成される。

請求項（抜粋）：

超短パルスレーザ光を出射するTiサファイアレーザ光源と、前記長短パルスレーザ光を反射して被加工材に照射する反射手段とを具備してなることを特徴とする超精密加工装置。

IPC (6件)：

B23K 26/00 ,  H01L 21/301 ,  G02B 7/198 ,  G02B 17/08 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/16

FI (6件)：

B23K 26/00 N ,  G02B 17/08 Z ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/16 ,  H01L 21/78 B ,  G02B 7/18 B