インクジェットプリンターヘッド用ノズル板およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241362
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076511
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】撥液性被膜を保護することが可能であり、インク滴を安定に吐出させる。そして、インクジェットプリンターの信頼性を向上させる。【解決手段】インク吐出面を一方に有する平板状部材からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出される貫通したインク吐出孔2と、インク吐出面3のインク吐出孔2周囲に被覆する撥液性被膜4と、インク吐出孔2周囲の外側に撥液性被膜4よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜7とを有する。

請求項（抜粋）：

インク吐出面を一方に有し、平板状部材からなる平板状部材の所定の位置にインクを吐出する貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外側に設け撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有することを特徴とするインクジェットプリンターヘッド用ノズル板。

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