特許
J-GLOBAL ID:200903010487212700
マイクロ波焼結方法及びマイクロ波焼結炉
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
林 清明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-166074
公開番号(公開出願番号):特開平6-345541
出願日: 1993年06月11日
公開日(公表日): 1994年12月20日
要約:
【要約】【目的】 焼結時の被焼結体の各部分の温度勾配を小さくしてクラックの発生を防止し、また、エネルギ効率のよいマイクロ波焼結方法及びその方法に使用するマイクロ波焼結炉を提供すること。【構成】 マイクロ波焼結炉内に配設したヒータ6により、被焼結体10をマイクロ波焼結炉内で所定温度まで予熱した後、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の焼結処理を行う。
請求項(抜粋):
マイクロ波により誘電体を加熱し、焼結するマイクロ波焼結方法において、被焼結体をマイクロ波焼結炉内で輻射熱により所定温度まで予熱する工程と、マイクロ波焼結炉内の温度と被焼結体の表面温度の差を制御しながらマイクロ波により被焼結体の焼結処理を行う工程とからなることを特徴とするマイクロ波焼結方法。
IPC (3件):
C04B 35/64
, H05B 6/68 320
, H05B 6/80
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