特許
J-GLOBAL ID：200903010488735277
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068613
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267948
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】簡単且つ短時間にカンチレバーの位置調整を高精度に行うことが可能なコンパクトで低価格な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー24を保持するホルダ26と、XY方向に移動自在なXYステージ28に設けられ且つホルダをセット可能な第1乃至第3のセットステーションS1,S2,S3と、ホルダを着脱自在に支持可能であって且つ支持されたホルダを所望の方向にスライド可能な支持ユニット30と、第1乃至第3のセットステーションと支持ユニットとの間の位置関係を相対的に変化させることによって、第1乃至第3のセットステーションにセットされた所望のホルダを三次元方向に相対的に移動可能な移動機構と、カンチレバーが所望の位置に位置付けられるように、支持ユニットに支持されたホルダをスライドさせることによってホルダの位置を自動的に調整可能な位置調整機構とを備えている。
請求項（抜粋）：
試料を走査可能な角度でカンチレバーを保持するホルダと、前記試料を載置した状態で所望の方向に移動自在なステージに設けられ且つ前記ホルダをセット可能な複数のセットステーションと、前記ホルダを着脱自在に支持可能であって且つ支持されたホルダを所望の方向にスライド可能な支持ユニットと、前記セットステーションと前記支持ユニットとの間の位置関係を相対的に変化させることによって、セットステーションにセットされた所望のホルダを三次元方向に相対的に移動可能な移動機構と、前記カンチレバーが所望の位置に位置付けられるように、前記支持ユニットに支持されたホルダをスライドさせることによってホルダの位置を自動的に調整可能な位置調整機構とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
