弾性表面波ガス・センサ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-280020
公開番号（公開出願番号）：特開2009-109261
出願日： 2007年10月29日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】センサ・ネットワークのセンサ・ノードなどに採用可能な低消費電力、小型で、かつダイナミック・レンジの大きいSAWセンサを実現することにある。【解決手段】帰還型のSAW発振器を構成する従来型のセンサではなく、本発明はセンシングガスとは隔離されたSAW遅延線の遅延位相を基準に、測定ガスによるSAW遅延線の遅延位相の変化を評価する構成であり、これにより温度による変動分は互いに相殺されるため、考慮する必要はなくなる。また、測定用の周波数信号は、ZigBeeなどのセンサ・ネットワークで用いる周波数信号の分周と逓倍によって生成するため、外部回路等が大幅に簡略化され、低消費電力化、装置の小型化が図れる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

温度に対しては同一条件の2ケ以上の弾性表面波素子よりなる弾性表面波ガス・センサ装置であり、1方の弾性表面波素子はガス・センサとして用い、該弾性表面波ガス・センサを伝搬する弾性表面波の出力位相を、測定ガスから隔離された他方の弾性表面波素子を伝搬する弾性表面波の出力位相を基準に定めることを特徴とする弾性表面波ガス・センサ装置。

IPC (4件)：

G01N 29/00 , H03H 9/44 , H03H 9/145 , H03H 9/25

FI (4件)：

G01N29/18 , H03H9/44 , H03H9/145 B , H03H9/25 A

Fターム (18件)：

2G047AA01 , 2G047BA04 , 2G047BC02 , 2G047CA01 , 2G047CB03 , 2G047EA15 , 2G047EA17 , 2G047GB17 , 5J097AA01 , 5J097AA09 , 5J097AA21 , 5J097AA29 , 5J097AA35 , 5J097BB01 , 5J097BB07 , 5J097CC17 , 5J097GG02 , 5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (5件)

水素センサ,燃料電池およびそれらを備える車輌
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-204107 出願人：凸版印刷株式会社
特開平3-115853
超音波測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-304081 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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