物体を均一加熱する装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-562261
公開番号（公開出願番号）：特表2003-524304
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】物体(O)を均一加熱する装置でこの物体(O)を支持する支持表面(2)と、この支持表面(2)上に配された加熱層(3)とを備える。加熱層(3)は、エネルギー源(4)から受けたエネルギーを少なくとも部分的に吸収し、こうして吸収したエネルギーを支持表面(2)に支持された物体(O)に少なくとも部分的に発する。また、加熱層(3)は、層(3)が吸収したエネルギーが自己調整式に層(3)の表面沿いに均等に分布するような材料からできている。加熱装置は、簡単でコンパクトな装置を形成し、均一の温度まで物体(O)を急速に加熱するのに使用される。

請求項（抜粋）：

物体(O)を支持する支持表面(2)と、この支持表面(2)上に配されて、エネルギー源(4)から受けるエネルギーを少なくとも部分的に吸収し、吸収したエネルギーを少なくとも部分的に支持表面(2)に支持された物体(O)に発する層(3)とを備え、層(3)が、層(3)に吸収されるエネルギーが自己調整式に層(3)の表面沿いに均等に分布する材料で作られていることを特徴とする物体(O)を均一加熱する装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H05B 3/00 310 , H05B 3/20 312

FI (3件)：

H05B 3/00 310 D , H05B 3/20 312 , H01L 21/30 567

Fターム (14件)：

3K034AA05 , 3K034AA15 , 3K034BB13 , 3K034FA02 , 3K034FA11 , 3K034HA10 , 3K034JA05 , 3K058AA02 , 3K058AA73 , 3K058AA86 , 3K058BA00 , 3K058CA12 , 3K058CA23 , 5F046KA04

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