特許

J-GLOBAL ID：200903010494822351

光強度スロープ計算方法、光強度ログスロープ計算方法およびこれらの計算方法を記述したプログラムを記録した情報記録媒体

発明者： 乾 博智
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335789
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155987
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 光強度スロープを高速に計算する。【解決手段】 フォトマスクからの光を光学系を介して投影対象に投影するときの投影像の光強度スロープ計算方法において、光学系の特性を表す特性関数φを計算し、特性関数φを矩形領域、水平方向の帯領域、及び垂直方向の帯領域で積分した各テーブルΦ, Φx, Φyを作成し、これらのテーブルとフォトマスクのデータとを使って光強度スロープI'を求める。

請求項（抜粋）：

フォトマスクからの光を光学系を介して投影対象に投影するときの投影像の光強度スロープ計算方法において、前記光学系の特性を表す特性関数を計算し、該特性関数を矩形領域、水平方向の帯領域、及び垂直方向の帯領域で積分した各テーブルを作成し、これらのテーブルを使って光強度スロープを求めることを特徴とする光強度スロープ計算方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 C

Fターム (3件)：

5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046DD04