特許
J-GLOBAL ID：200903010500624354
薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194145
公開番号（公開出願番号）：特開2000-030215
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 高記録密度化に伴い、上部コア層の先端部におけるトラック幅Twを小さくする必要性がある。従来では露光機のNAを低くして、前記上部コア層のパターンを露光していたが、現像度は1.0μm程度が限度であり、1.0μm以下のトラック幅Twを形成することができなかった。また狭トラック化が進むと従来の上部コア層の形状では、OW特性が悪化しやすいといった問題もある。【解決手段】 上部コア層25を、トラック幅で形成された先端部Dと、トラック幅よりも大きい幅寸法T1を有する中間部Eと、幅寸法が広がる後端部Fとで構成する。特に先端部Dを形成するためのパターンを露光する際には、露光機のNAを高めて現像度を高くし、狭トラック化に対応できるようにしている。また先端部Dの長さL2を短くし、前記先端部Dの後方に、幅寸法T1の大きい中間部Eを設けることでOW特性を向上できる。
請求項（抜粋）：
磁性材料製の下部コア層と、記録媒体との対向面で前記下部コア層の上に非磁性のギャップ層を介して対向する磁性材料の上部コア層とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部コア層は、記録媒体との対向面から、前記記録媒体から離れる後方へ向けてトラック幅Twで形成された先端部と、前記先端部からさらに後方に向けて、前記トラック幅Twよりも大きい一定の幅寸法を有する中間部と、前記中間部からさらに後方に向けて幅寸法が広がる後端部とで構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Fターム (3件)：
5D033BA07
, 5D033DA04
, 5D033DA31
