特許

J-GLOBAL ID：200903010501536211

感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルム

発明者： 川口 卓 ,  木村 仁子
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205143
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048830
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 下地金属との密着性を向上し、エッチングもぐりが少なく、金属精密加工に有用な感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルを構成単量体として含むバインダポリマー、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2及びR3は、各々独立に、アルキレン基又はアリーレン基により結合されたトリアルコキシシリル基を示す)で表されるイソシアヌレート化合物を含む感光性樹脂組成物並びに支持フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

(A)アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルを構成単量体として含むバインダポリマー、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2及びR3は、各々独立に、アルキレン基又はアリーレン基により結合されたトリアルコキシシリル基を示す)で表されるイソシアヌレート化合物を含む感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/085 ,  C09D 4/06 PDR ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50

FI (7件)：

G03F 7/085 ,  C09D 4/06 PDR ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50 A