特許

J-GLOBAL ID：200903010502229169

電子ビーム照射装置

発明者： 岩崎 啓子 ,  香月 健治
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137100
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、被照射物に対する電子ビームの均一照射を可能にした振動台を有する電子ビーム照射装置を提供する。【解決手段】 装置本体11からの電子ビーム12が照射される被照射物15を載置する振動台14の受け皿13の皿本体131周縁部に沿って傾斜面を有する側壁132を形成している。

請求項（抜粋）：

電子ビームを照射する装置本体と、この装置本体からの電子ビームが照射される被照射物を載置する受け皿を有する振動台を具備し、前記受け皿は、被照射物を載置する皿本体の周縁部に沿って傾斜面を有する側壁を形成したことを特徴とする電子ビーム照射装置。

IPC (5件)：

G21K 5/10 ,  A23L 3/005 ,  A61L 2/08 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/20

FI (5件)：

G21K 5/10 Z ,  A23L 3/005 ,  A61L 2/08 ,  G21K 5/04 E ,  H01J 37/20 A

Fターム (11件)：

4B021LP10 ,  4B021LT03 ,  4B021LW07 ,  4B021LW09 ,  4C058AA21 ,  4C058BB06 ,  4C058EE22 ,  4C058KK01 ,  5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001CC08