特許
J-GLOBAL ID:200903010507737790

円錐回折斜入射分光器及び該分光器用回折格子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 良平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-235848
公開番号(公開出願番号):特開2001-059773
出願日: 1999年08月23日
公開日(公表日): 2001年03月06日
要約:
【要約】【課題】 格子面に垂直な軸の周りに回折格子を回動させることにより波長走査を行う円錐回折斜入射分光器において、収差が小さく、しかも波長によらず高い回折効率が得られるような分光器及びそのための回折格子を提供する。【解決手段】 回折格子3を回動させる回転中心32を格子面30に入射光が入射する点(入射点)31から離れたところに定める。また、回折格子3が回転角度φにあるときに入射光により照明される領域R2における格子溝の断面形状は、その回転角度φに対応する波長λの光の回折効率が最大となるように決定されている。
請求項(抜粋):
光源からの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された平面回折格子とを備え、前記平面回折格子をその格子面の法線に平行に定められた回転軸の周りに回動させることにより波長走査を行う円錐回折斜入射分光器において、前記平面回折格子は、前記収束光の主光線が前記回転軸と前記格子面との交点とは異なる点で該格子面に入射するように配置され、前記収束光により照明される前記格子面の各領域における溝形状は、前記回転軸を中心とした該領域の回転位置に応じて決定されていること、を特徴とする円錐回折斜入射分光器。
IPC (2件):
G01J 3/18 ,  G02B 5/18
FI (2件):
G01J 3/18 ,  G02B 5/18
Fターム (12件):
2G020CB04 ,  2G020CC04 ,  2G020CC07 ,  2G020CC11 ,  2G020CC55 ,  2G020CC62 ,  2H049AA07 ,  2H049AA53 ,  2H049AA58 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2H049AA69

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