特許

J-GLOBAL ID：200903010509293857

弾性表面波温度センサー

発明者： 戸田 耕司
出願人/特許権者： 戸田 耕司
代理人 (1件)： 本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216026
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034210
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波遅延線発振器を用いて温度変化に対する発振周波数の変化率が大きく、しかも直線性のよい高感度感度な弾性表面波温度センサーを提供する。【構成】 すだれ状電極2に増幅器5から送られる電気信号のうち、すだれ状電極2の示す中心周波数帯域内の周波数の電気信号のみが弾性表面波に変換されて伝搬経路上を伝搬する。弾性表面波は次第に消耗されながらすだれ状電極3に至り、再び電気信号に変換されて増幅器5に送りもどされる。増幅器5では消耗分の電気信号が増幅されて再びすだれ状電極2に送られ、このようにして遅延線発振器が構成される。伝搬経路上の温度は駆動時の遅延線発振器の発振周波数と相関することから、温度変化を発振周波数で表すことが可能となる。【効果】 伝搬経路上に有機薄膜を設けることにより、温度センサーとしての高感度化を実現できる。

請求項（抜粋）：

所定の温度に対し所定の発振周波数を示す弾性表面波遅延線発振器を備え、前記発振器の遅延線が圧電基板と、この圧電基板の一方の面上に形成されている2組のすだれ状電極とからなり、前記発振器の発振周波数で温度を表わす弾性表面波温度センサーにおいて、前記すだれ状電極が設けられている側の前記圧電基板の表面のうちで、少なくとも一部分の領域が有機薄膜で覆われ、その有機薄膜で覆われた領域は2組の前記すだれ状電極の間にあり、該有機薄膜の膜厚は前記発振周波数に相当する波長のほぼ1/10に等しいかまたはそれ以下であることを特徴とする弾性表面波温度センサー。