特許
J-GLOBAL ID：200903010515521888
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140653
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335622
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】正確にオートティーチングを行うことができ、かつ基板支持部材に対し、基板が常に位置関係を確認しながら高い信頼性で基板を搬送することができ、さらに安価に製作することができる基板搬送装置を提供すること。【構成】複数の基板を支持するウエハボード21とキャリアCとの間で基板を搬送する基板搬送装置であり、ウエハボード21との間で移載作業を行うことが可能な第1の移載作業位置およびキャリアCとの間で移載作業を行うことが可能な第2の移載作業位置の間で移動可能な搬送装置本体52と、この搬送装置本体52に対して進退可能に設けられ、ウエハボート21およびキャリヤCの基板支持部との間で基板の受け渡しを行うためのフォーク59a,59bと、このフォークの両側部に取り付けられ、フォークと一体的に進退移動し、基板までの距離および基板の水平面内の位置を検出する静電容量センサー70a,70bとを具備する。
請求項（抜粋）：
複数の基板を支持する第1の基板支持部材と第2の基板支持部材との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、前記第1の基板支持部材との間で移載作業を行うことが可能な第1の移載作業位置および第2の基板支持部材との間で移載作業を行うことが可能な第2の移載作業位置の間で移動可能な搬送装置本体と、この搬送装置本体に対して進退可能に設けられ、前記第1および第2の基板支持部材の基板支持部との間で基板の受け渡しを行うためのフォークと、このフォークの両側部に取り付けられ、前記フォークと一体的に進退移動し、基板までの距離および基板の水平面内の位置を検出する非接触型センサーと、を具備する基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
, B65G 49/07 C
