特許

J-GLOBAL ID：200903010515610120

カーボン電極及びその製造法

発明者： 笹原 直樹 ,  太田 幸次郎 ,  八木岡 克明
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157254
公開番号（公開出願番号）：特開平9-003651
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 機械的強度が強く、カーボン粒子の脱落が防止され、使用回数が向上させたカーボン電極及びその製造法を提供する。【構成】 黒鉛基材に、界面活性剤を含む熱硬化性樹脂組成物を充填し、ガラス状炭素化してなるカーボン電極及びその製造法。

請求項（抜粋）：

黒鉛基材に、界面活性剤を含む熱硬化性樹脂組成物を充填し、ガラス状炭素化してなるカーボン電極。

IPC (4件)：

C23C 16/44 ,  C30B 25/12 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

C23C 16/44 H ,  C30B 25/12 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205