特許
J-GLOBAL ID：200903010518788087
自動合焦点装置を備えた光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139442
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334668
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】レーザダイオード等によるレーザスポット光を試料の表面に投射し、試料から反射したレーザ光をハーフミラーを介して光軸から傾斜して設けたラインセンサ上に結像し光量を検出して、凹凸のある試料に対応可能とした自動合焦点装置を備えた光学顕微鏡を提供すること。【構成】少なくとも、対物レンズ3と結像レンズ4とを備えた光学顕微鏡であって、少なくとも、試料台1と駆動機構部6とを備えた合焦点手段を有する自動合焦点装置を備えた光学顕微鏡において、試料にレーザ光を投射する手段11〜13と、レーザ光を反射するハーフミラー7と、合焦点用結像レンズ8と、ラインセンサ10と、一定周期で回動する反射鏡9とを有し、反射鏡9の回動による入射光が最大となるラインセンサ10上の位置を検出し、ラインセンサ上の位置までの光路長とあらかじめ設定した焦点位置までの光路長との差を得て合焦点検出信号とし、合焦点検出信号により試料台を垂直方向に移動させる。
請求項（抜粋）：
少なくとも、観察する試料に焦点を結ぶように設けられた対物レンズと、該対物レンズからの光の結像を所定結像面位置に結ぶように設けられた結像レンズとを備えた光学顕微鏡であって、少なくとも、前記試料を載置し水平方向および垂直方向に移動可能な試料台と、入力される合焦点検出信号に応じて前記試料台を垂直方向に移動させる駆動機構部とからなる自動合焦点装置を備えた光学顕微鏡において、前記試料台に載置された試料にレーザ光を投射する手段と、前記試料から反射するレーザ光を反射するための前記光学顕微鏡の光路中に設けたハーフミラーと、該ハーフミラーからの反射光の結像を、前記対物レンズの焦点と共役位置に結ぶ合焦点用結像レンズと、該合焦点用結像レンズの結像点において、光軸に対し所要の傾きで設けた複数の光電変換素子からなるラインセンサと、前記合焦点用結像レンズの光路中に設けた一定周期で回動する反射鏡とを有し、該反射鏡の回動による入射光が最大となる前記ラインセンサ上の位置を検出し、該ラインセンサ上の位置までの光路長とあらかじめ設定した焦点位置までの光路長との差を得て合焦点検出信号とし、該合焦点検出信号により前記試料台を垂直方向に移動させることを特徴とする自動合焦点装置を備えた光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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