特許
J-GLOBAL ID:200903010521103257
アンテナの作製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
和泉 良彦 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-003378
公開番号(公開出願番号):特開2001-196819
出願日: 2000年01月12日
公開日(公表日): 2001年07月19日
要約:
【要約】【課題】高周波用の立体アンテナをより簡易に作製する。【解決手段】半導体基板1上に、所定の形状の有機膜2を形成する工程と、基板1と有機膜2にまたがって、台座部4とアンテナ部5を有する所定の形状の金属膜3を形成する工程と、有機膜2を除去して基板1とアンテナ部5との間に間隙7を形成する工程と、アンテナ部5を基板1に対し垂直に変形させる工程とを有する。
請求項(抜粋):
基板上に、台座部とアンテナ部を有する所定の形状の導電膜を形成する工程と、前記基板と前記導電膜のアンテナ部との間に間隙を形成する工程と、前記アンテナ部を前記基板に対し概ね垂直に変形させる工程とを有することを特徴とするアンテナの作製方法。
IPC (3件):
H01Q 1/00
, H01P 11/00
, H01Q 1/38
FI (3件):
H01Q 1/00
, H01P 11/00 N
, H01Q 1/38
Fターム (5件):
5J046AA09
, 5J046AA19
, 5J046AB06
, 5J046AB13
, 5J046PA07
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