特許
J-GLOBAL ID：200903010522492508
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-189217
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055899
出願日： 1994年08月11日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【構成】窒化アルミニウム質焼結体などの所定の基体表面に窒化アルミニウム結晶相を主相とするセラミック抵抗体からなる薄層を具備した静電チャックであって、薄層中に酸素が0.02〜20原子%の割合で存在し、窒化アルミニウム結晶の格子定数がa軸で3.107〜3.116Å、c軸で4.976〜4.988Åであり、且つ25°Cにおける体積固有抵抗が107 〜1013Ω-cmであることを特徴する。【効果】少なくとも室温から400°Cの広い温度領域において安定したウエハ吸着特性を有し、残留吸着力がなく吸着力も大きい静電チャックを提供でき、優れた信頼性と長期安定性が得られる。
請求項（抜粋）：
所定の基体表面に窒化アルミニウム結晶相を主相とするセラミック抵抗体からなる薄層を具備し、該薄層中に酸素が0.02〜20原子%の割合で存在し、前記窒化アルミニウム結晶の格子定数がa軸で3.107〜3.116Å、c軸で4.976〜4.988Åであるとともに、25°Cにおける体積固有抵抗が107 〜1013Ω-cmであることを特徴する静電チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
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