特許

J-GLOBAL ID：200903010530339972

安定化干渉計測装置

発明者： 芳野 俊彦
出願人/特許権者： 芳野 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194909
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351814
出願日： 1998年06月08日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【目的】 簡便で安定な干渉縞解析装置を提供すること。【構成】 2周波光4、2光束干渉計11、位相計18,サーボ信号22を具備している。

請求項（抜粋）：

2周波光ヘテロダイン干渉によって干渉計の光路差の検出を行い、サーボ機構を用いた位相制御によって干渉縞の位相を任意の可変位相値に安定化せしめ、縞解析を行わせることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/24 ,  G01J 9/02

FI (4件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/06 G ,  G01B 11/24 D ,  G01J 9/02