特許
J-GLOBAL ID：200903010534149264
光重合可能な組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斉藤 武彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-510164
公開番号（公開出願番号）：特表平9-503871
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】重合体性結合剤、少なくとも1種の遊離ラジカル重合性エチレン系不飽和化合物、ならびに光重合開始剤組合せとして、反応開始の補助をするだけではなく光重合性組成物の感度を所望のスペクトル領域に増加させる第三成分と共に、メタロセン化合物、N-フェニルグリシンまたは置換N-フェニルグリシンあるいはN-フェニルグリシン誘導体を包含する光重合性組成物で被覆したベースを包含するリソグラフィープレートが記載されている。
請求項（抜粋）：
重合体結合剤、少なくとも1種の遊離ラジカル重合性エチレン系不飽和化合物、ならびに、光重合開始剤組合せとして、反応開始の補助をするだけではなく光重合性組成物の感度を所望のスペクトル領域に増加させる第三成分と共に、メタロセン化合物、N-フェニルグリシンまたは置換N-フェニルグリシンあるいはN-フェニルグリシン誘導体を包含する光重合性組成物で被覆したベースからなることを特徴とするリソグラフィープレート。
IPC (6件)：
G03F 7/028
, C09D 4/06 PEN
, C09D101/10 PDW
, C09D101/10 PGZ
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
G03F 7/028
, C09D 4/06 PEN
, C09D101/10 PDW
, C09D101/10 PGZ
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
