特許
J-GLOBAL ID：200903010535812790
矩形基板保持治具および矩形基板研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286093
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094308
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：
【要約】【課題】 大判矩形状の基板の高速高圧研磨時において基板に衝撃を与えることなく保持することができる矩形基板保持治具および該基板保持治具を用いて矩形基板を研磨する矩形基板研磨方法を提供する。【解決手段】 矩形基板1を収納することができる穴3aを設けたキャリアー3とキャリアー3の穴3aに収納される矩形基板1をキャリアー3に連結する複数の弾性体4とからなる矩形基板保持治具により、矩形基板1を複数の弾性体4を介して接着固定したキャリアー3を研磨パッド10上に載置された回転リング6内に挿入し、そして矩形基板1を研磨パッド10に圧接させる。研磨パッド10の回転に伴なって回転する回転リング6によりキャリアー3および矩形基板1を回転移動させ、矩形基板1をキャリアー3と衝突することなく安定して保持した状態で矩形基板1の高速高圧研磨を行なう。
請求項（抜粋）：
矩形基板を収納することができる穴を設けた円板状のキャリアーと、該キャリアーの穴に収納される矩形基板を前記キャリアーに連結する複数の弾性体とからなり、前記キャリアーと前記穴に収納された前記矩形基板とを前記複数の弾性体を介して連結し前記矩形基板を前記キャリアーに対して移動しないように保持して前記矩形基板を研磨するようにしたことを特徴とする矩形基板保持治具。
Fターム (10件)：
3C058AA07
, 3C058AA12
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AB09
, 3C058CA01
, 3C058CA02
, 3C058CA06
, 3C058CB02
, 3C058DA06
