ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047907
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235867
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】現像性が優れており(特に現像残さの発生、現像欠陥の発生の軽減)、更に感度、解像力、パターンプロファイルの形状も優れたポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及びアセチレンアルコール誘導体を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)アセチレンアルコール誘導体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/05 , C08K 5/16 , C08L101/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/032 , H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/05 , C08K 5/16 , C08L101/12 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/032 , H01L 21/30 502 R

Fターム (55件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB17 , 2H025CB29 , 2H025CB52 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 4J002BB011 , 4J002BG071 , 4J002BG131 , 4J002BH021 , 4J002EB006 , 4J002EC037 , 4J002EC047 , 4J002EC067 , 4J002EH008 , 4J002EH118 , 4J002EN020 , 4J002EN100 , 4J002EQ016 , 4J002ER029 , 4J002EU029 , 4J002EU049 , 4J002EU079 , 4J002EU119 , 4J002EU129 , 4J002EU139 , 4J002EU149 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EU239 , 4J002EV216 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002EY006 , 4J002EZ006 , 4J002FD206 , 4J002FD208 , 4J002FD209 , 4J002FD310 , 4J002GP03

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