特許

J-GLOBAL ID：200903010543454290

表面形状測定装置および方法

発明者： 鮫田 芳富
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139717
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347228
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】 測定分解能を悪化させずに高さ方向についての測定可能範囲を広くするとともに、被測定物の表面形状を高速に測定することができる表面形状測定装置および方法を提供する。【構成】 光線走査器1から被測定物5に光点を投光して走査し、一部透過ミラー2で反射された被測定物に投光される光線の一部を参照用焦点板3で変調し、この変調された光を参照用受光素子4で参照用検出光として検出するとともに、走査光の被測定物からの反射光を投光方向と異なる方向から観測して結像レンズ6で焦点板7上に結像し、焦点板7で変調し、この変調された光を光検出器8で検出し、この検出光と前記参照用検出光との位相差を位相測定器9で測定し、該位相差に基づいて被測定物5の表面形状を測定する。

請求項（抜粋）：

被測定物に光点を投光して走査する光線走査手段と、該光線走査手段から被測定物に向けて照射された光線を透過するとともに該光線の一部を反射するミラーと、該ミラーで反射された光線の焦点に設けられ、該光線を変調する参照用焦点板と、該参照用焦点板によって変調された光を検出する参照用光検出器と、前記ミラーを透過した光を照射される被測定物上の光点からの反射光を前記光の照射方向と異なる方向から観測し結像する結像レンズと、該結像レンズの結像面に設けられ、光を変調する焦点板と、該焦点板により変調された光を検出する光検出手段と、前記参照用光検出器の出力信号と前記光検出手段の出力信号との位相差を測定し、該位相差により被測定物の表面形状を測定する位相測定手段とを有することを特徴とする表面形状測定装置。