特許
J-GLOBAL ID：200903010544129180
搬送装置および搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045061
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231028
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの高さおよび向きをプロセス装置の受渡し手段およびウエハ処理手段の構成に適合するように修正することができ、プロセス装置とトンネル搬送装置との境界領域において、装置を複雑化大型化することなくスムーズにウエハ等の被搬送物を移送することができる搬送装置を提供する。【構成】 トンネル7内部に、ウエハ5を搭載する搬送台車9を設け、トンネル7の外殻となる隔壁8により外気を遮断した状態でウエハ5を搬送する搬送装置において、トンネル7の内部に、ウエハ5を載置する置台1と、この置台1を上下方向へ移動させる移動手段4と、置台1上に載置された状態でのウエハ5に設けられたオリフラ5aの周方向の位置を予め定められた位置に修正する位相修正手段33とを具備した。
請求項（抜粋）：
トンネル内部に、ウエハを搭載する搬送台車を設け、上記トンネルの外殻となる隔壁により外気を遮断した状態でウエハを搬送する搬送装置において、上記トンネルの内部に、上記ウエハを載置する置台と、この置台を上下方向へ移動させる移動手段と、上記置台上に載置された状態でウエハに設けられたオリエンテーションフラットの周方向の位置を予め定められた位置に修正する位相修正手段とを具備したことを特徴とする搬送装置。
IPC (2件)：
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